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芯片制造——半导体工艺与设备 陈译,陈铖颖,张宏怡 编 专业科技 文轩网
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https://product.suning.com/0070067633/11555288247.html
芯片制造——半导体工艺与设备
本书是围绕国家集成电路发展重大需求,根据《国家集成电路产业发展推进纲要》,由机械工业出版社组织编著的“集成电路关键技术丛书”之一。集成电路是半导体产业*核心且技术含量*高的领域,是现代信息社会的基础,也是我国必须掌握的核心技术之一。集成电路产业包括设计、制造和封测三大方面。而制造工艺与设备则是集成电路设计*终的落地。本书首先讲述了半导体产业变化漫长历史中的工艺和设备,再按照集成电路典型制造工艺流程来讲述硅的氧化、光刻、刻蚀、半导体掺杂和淀积等主要工艺。在讲述工艺的同时将工艺需求和设备性能的技术关系也进行论述。总而言之,本书将系统地阐述了半导体制造的主要工艺流程,并在此基础上,将对实现主要工艺的半导体制造设备从其结构和原理进行剖析,使本书更加具有实际的工业应用价值。
本书着重介绍了半导体制造设备,并从实践的角度出发,选取了具有代表性的设备进行讲解。为了让读者加深对各种设备用途的理解,采用了一边阐述半导体制造工艺流程、一边说明各制造工艺中所使用的制造设备及其结构和原理的讲解方式,力求使读者能够系统性地了解整个半导体制造的体系。本书可作为从事集成电路工艺与设备方面工作的工程技术人员,以及相关研究人员的参考用书,也可作为高等院校微电子、集成电路相关专业的规划教材和教辅用书。
陈译,副教授,男,厦门理工学院,获得日本国立琉球大学电气电子工学专业博士学位,厦门市双百人才,于2010年4月进入日本三垦电气株式会社,从事功率半导体器件(IGBT、MOSFET、SiC SBD、SiC MOSFET)的研发与产业化,经历了优选功率半导体产业和技术发展的重要过程,参与或领导团队研发了30个品种以上的功率器件并实现产业化。其主持研制的IGBT、MOSFET芯片已卖出数百万片(其中IGBT芯片主要供货给格力电器),总产值超过20亿日元。截止目前,拥有授权和受理发明专利50余项,实用新型10余项,发表科研论文15篇。在面向工业和车规级的高端功率器件研发及量产方面经验丰富,尤其擅长高端IGBT、Split-gate MOSFET、SiC功率器件的研究。主要成果:1)发明新型结构沟槽肖特基二极管,综合性能比市面通用量产产品高出20%,并申报多项日本发明专利;2)设计完成基于第六代沟槽null
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